在测试系统上开发的测试程序包括器件引脚（Pin Map）、直流参数（DC Spec）、交流参数（AC Spec）、测试图形（Pattern Set）、测试事件（Test Instance）、测试流程表（Flow Table）等模块设置，其中测试事件包含各种连接性测试、功能测试、直流和交流参数测试。集成电路测试程序开发流程如图1-5所示[13]。
图1-5 集成电路测试程序开发流程
