第173章 铸就强大的利器去保护她

在黄新华这边泡了一个上午。

分布式投影光刻机的物镜原理，主要是利用多枚镜片，将照明模组发射出的1阶衍射光收进物镜内，再将掩膜版上的电路图案缩小并聚焦成像在晶圆上。

听着挺简单，但就和大蘑菇...