第886章 浸润式DUV光刻机

对于EUV光刻机的研发,困难很多,主要还是在光源这块。

陈怀庆并不急迫,也没有想着说,EUV光刻机在短时间就能够搞定。

他心理的预期,在二十年内研发成功,那就完全的没有问题。

毕竟,...

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