3.7 有机TFT技术

有机TFT（Organic TFT，OTFT）采用有机小分子或聚合物半导体材料作为沟道层，聚合物介电材料作为介电层和钝化层，具有制造工艺温度低（＜120℃）、热力学性能与塑料衬底匹配等优势，从而可以有效地降低工艺过程中的热应力及弯曲产生的机械应力。而且，有机半导体和介电材料本身的优良机械力学特性令其组合具有很好的抗弯曲应力的性能。此外，有机半导体材料通过分子结构的裁剪和物理共混的方式具有很大的性能提供空间。因此，OTFT理论上是非常理想的用于实现柔性显示背板的技术选择。随着材料、成膜工艺及器件物理机制等相关基础问题研究的进展，OTFT被尝试用于构建各种柔性显示，包括电子纸、AMLCD、AMOLED 等。这些工作很好地证明了OTFT面向多元化柔性显示应用的潜力。然而，主流柔性显示对背板各项特性参数具有极高的要求，OTFT需要提高器件性能和解决制造工艺问题，同时寻求差异化的应用。以下将分别讨论OTFT特性、制造工艺及背板的研究进展。