第3章柔性TFT背板技术

薄膜晶体管（Thin-Film Transistor，TFT）是构建各种高分辨率、高性能的有源矩阵显示的关键基础元件。柔性 TFT背板技术的主要难点是如何克服制造过程中的热应力的影响，获得具有类似于刚性衬底器件的性能，满足显示驱动应用的需求，并且在长期使用过程中能够承受反复弯曲产生的机械应力，不会出现明显的器件性能退化。低温多晶硅（Low Temperature Polycrystalline Silicon，LTPS）TFT和有机发光二极管（Organic Light Emitting Diode，OLED）的结合推动了柔性有源矩阵OLED（Active Matrix OLED，AMOLED）显示在移动智能终端上的大规模产业化应用。非晶氧化物（Amorphous Oxide Semiconductor，AOS）TFT技术的发展使柔性大尺寸AMOLED显示的量产成为可能。LTPO背板技术将AOS TFT与LTPS TFT进行集成，为低功耗、高性能显示及功能化集成提供了新的发展机遇。面向形态化、低成本和易于定制化等多元化的柔性显示的应用需求，基于有机半导体和聚合物介电材料的有机TFT（Organic TFT，OTFT）技术获得了广泛关注。本章将首先介绍实现柔性TFT 背板技术的共性基础问题和基本制造工艺，然后分别讨论柔性 LTPS TFT、AOS TFT、LTPO及OTFT背板的技术难点、方案及在柔性显示中的应用进展。