- 硅基射频器件的建模与参数提取
- 张傲 高建军
- 211字
- 2022-05-09 17:43:42
2.6.1 石墨烯片上螺旋电感的制备与测试
石墨烯片上螺旋电感的制备流程示意图如图2.42所示[16]。图2.43给出了加工所得的单圈和两圈的石墨烯电感的版图,图2.44给出了两圈和三圈的石墨烯电感扫描电镜图片。
图2.42 石墨烯片上螺旋电感的制备流程示意图
石墨烯片上电感测试结构示意图如图2.45所示。设计的结构为GSG共面波导结构,采用间距为150μm的GSG探针和AgilentN5227A矢量网络分析仪对S参数进行测试。
图2.43 石墨烯电感版图
图2.44 石墨烯电感扫描电镜图片
图2.45 石墨烯片上电感测试结构示意图