第2章 常见干涉仪

干涉仪是根据光的干涉原理制成的计量仪器，它以光波作为测量尺度，将被测物理量转化为光程差，最终以干涉条纹反映被测信息。作为计量仪器，干涉仪具有高精度、高灵敏度和非接触式测量等优点。根据不同的测试方式的出现随之形成了具有各自特点的干涉仪。本章将针对一些常用干涉仪予以简要介绍。