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前言
第1章 绪论
1.1 微电子
1.1.1 光学光刻和极紫外光刻技术
1.1.2 电子束光刻技术
1.1.3 离子束光刻技术
1.1.4 X射线光刻技术
1.2 微机电系统
1.2.1 微机电系统简介
1.2.2 LIGA技术
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1.2.3 准LIGA技术
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1.3 微复制技术
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1.3.1 微复制的意义
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1.3.2 微复制工艺及其应用
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1.3.3 基于聚合物的微系统
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1.4 纳米技术
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1.5 纳米压印技术概述
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1.5.1 纳米压印技术的原理及特点
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1.5.2 纳米压印技术的发展
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1.5.3 纳米压印技术的应用
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1.6 纳米压印技术的研究现状
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1.6.1 国外研究现状
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1.6.2 国内研究现状
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1.6.3 纳米压印技术专利分析
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第2章 纳米压印工艺概述
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2.1 纳米压印工艺
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2.1.1 热压印
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2.1.2 紫外压印
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2.1.3 微接触印刷
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2.1.4 常用纳米压印方法的比较
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2.2 软刻蚀技术
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2.3 纳米压印印章
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2.4 压印聚合物
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第3章 纳米印章制备新方法
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3.1 FIB制备纳米印章的新途径
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3.1.1 聚焦离子束系统的工作原理和构成
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3.1.2 聚焦离子束系统的应用
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3.1.3 用聚焦离子束技术进行纳米压印印章的制备
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3.2 全息曝光制备微纳米印章
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3.3 纳米球光刻法加工印章
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3.4 纳米压印方法制备纳米压印印章
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3.5 纳米压印和光学光刻结合制备三维印章
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3.6 旋涂法制备PDMS印章
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3.6.1 旋涂法制备PDMS印章的原理和工艺流程
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3.6.2 旋涂法制备PDMS印章的具体实例
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3.6.3 旋涂法制备PDMS印章的实验结果
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3.7 热压法大规模制备PDMS印章的新方法
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3.7.1 热压法大规模制备PDMS印章的工艺路线
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3.7.2 热压法大规模制备PDMS印章的实例
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3.7.3 热压法大规模制备PDMS印章的实验结果与讨论
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3.8 PDMS印章中的缺陷分析
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3.8.1 空孔
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3.8.2 裂纹
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第4章 纳米压印结果分析
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4.1 纳米压印印章抗粘连层的制备
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4.1.1 干法抗黏
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4.1.2 湿法抗黏
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4.1.3 两种方法对比
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4.2 微压印结果及分析
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4.2.1 硅模具和镍模具制备
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4.2.2 硅模具和镍模具微压印PMMA、PC
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4.2.3 不同线宽和图形的合格率分析
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4.2.4 线条镍模具的微米压印
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4.2.5 对可压印材料PETG的研究
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4.3 铝线条印章压印mr－I 9020
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4.3.1 mr－I 9020胶介绍
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4.3.2 铝线条印章压印mr－I 9020
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4.3.3 压印胶中的缺陷
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4.4 正交法对纳米压印工艺的优化
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4.4.1 正交法的意义与原理
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4.4.2 热压印工艺中正交法的因子和水平
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4.4.3 正交法对工艺的优化研究
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4.5 石英模具室温压印Hybrane
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4.5.1 Hybrane胶介绍
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4.5.2 Hybrane胶的配置
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4.5.3 石英印章压印Hybrane
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4.6 复杂图案硅印章压印SU⁃8
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4.6.1 硅印章制备
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4.6.2 印章形貌
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4.6.3 SU⁃8 胶的旋涂
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4.6.4 硅印章压印SU⁃8
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4.7 后续转移图案
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4.7.1 残留胶厚度的计算
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4.7.2 O2刻蚀速率计算
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4.7.3 SF6刻蚀速率对比计算
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4.7.4 双气体连续刻蚀法进行图案转移
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4.7.5 单一气体刻蚀法进行图案转移
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第5章 纳米压印理论
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5.1 聚合物流变机理
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5.2 压印胶的流动行为
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5.3 纳米压印填充时间的理论计算
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5.4 有效压强的理论分析及提高印章寿命的新方法
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5.5 纳米压印理论的最新研究进展
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第6章 纳米压印仿真
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6.1 印章抗粘连层材料的选择
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6.1.1 分子动力学方法与原理
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6.1.2 分子动力学方法选择印章抗粘连层物质
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6.2 分子动力学对纳米压印工艺的仿真
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6.3 纳米压印仿真的其他研究
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第7章 纳米压印技术的应用
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7.1 纳米压印技术在光学领域的应用
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7.1.1 采用微纳米压印技术复制微纳光栅
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7.1.2 纳米压印技术制备聚合物微环共振腔
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7.1.3 纳米压印技术加工超材料
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7.1.4 纳米压印技术加工偏光镜
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7.1.5 纳米压印技术加工微镜
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7.2 纳米压印技术在生物医学领域的应用
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7.2.1 生物医学实验的意义
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7.2.2 生物加工材料的选择
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7.2.3 微纳米压印技术在蛋白质实验中的应用
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7.2.4 微纳米结构对不同细胞生长的影响
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7.2.5 纳米压印技术加工的硅纳米线阵列用于生物电子领域
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7.2.6 纳米压印技术制备的微阵列在生物医学中的应用
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7.3 纳米压印技术在电子学领域的应用
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7.4 纳米压印技术在磁学领域的应用
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7.5 纳米压印技术在微纳流体领域的应用
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7.6 纳米压印技术在光电子领域的应用
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7.7 纳米压印技术在其他领域的应用
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7.7.1 纳米压印技术加工铁电原件
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7.7.2 纳米压印技术加工探针
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第8章 纳米压印发展前景
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8.1 纳米压印技术面临的挑战
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8.1.1 纳米压印自身技术面临的挑战
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8.1.2 纳米压印技术面临的其他技术挑战
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8.2 纳米压印技术的发展前景
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8.2.1 纳米压印技术的创新技术
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8.2.2 纳米压印技术的研究方向
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8.2.3 纳米压印技术展望
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参考文献
更新时间：2018-12-27 17:41:21
完结共131章
倒序